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安徽電子廠無塵車間施工要求有哪些

安徽 2025-04-08 昊銳凈化機電 0
無塵車間裝修公司

電子廠無塵車間的施工要求需嚴格遵循 潔凈度控制、防靜電、AMC(氣態分子污染物)管理 等核心標準,以下是關鍵施工要求及技術要點:


一、潔凈度等級與氣流組織

  1. 等級標準

    • Class 100(ISO 5):芯片封裝區,單向流(風速0.45±0.1m/s)。

    • Class 1,000(ISO 6):精密裝配區,換氣次數50-100次/h。

    • Class 10,000(ISO 7):普通生產區,換氣次數20-50次/h。

    • ISO 5-8級(Class 100-100,000):

    • 檢測標準:ISO 14644-1(≥0.1μm/0.5μm顆粒數)。

  2. 氣流設計

    • 單向流:高潔凈區(如光刻區)采用頂送側回,FFU滿布覆蓋率≥80%。

    • 非單向流:普通區高效送風口+回風墻(開孔率≥50%)。


二、防靜電系統(核心要求)

  1. 地面

    • 材料:環氧自流平(防靜電型)或PVC卷材,表面電阻 10?~10?Ω

    • 工藝:鋪設銅箔網格(間隔≤3m),接地電阻≤4Ω。

  2. 墻面與設備

    • 彩鋼板/不銹鋼墻面需接地,設備工作臺安裝離子風機。

    • EPA(靜電防護區)標識明確,濕度控制45±5%RH。

  3. 人員防護

    • 防靜電服/鞋/腕帶,入口設靜電檢測門禁。


三、AMC(氣態分子污染物)控制

  1. 化學過濾器

    • 配置于空調機組(初效+中效+化學過濾+HEPA)。

    • 針對 酸(HCl)、堿(NH?)、有機物(VOCs) 等污染物。

  2. 材料選擇

    • 墻面/吊頂用低釋氣材料(如陽極氧化鋁板)。

    • 密封膠選用無硅酮類型(避免揮發污染)。


四、圍護結構與裝修

  1. 墻體與吊頂

    • 彩鋼板:巖棉/玻鎂夾芯(防火A級),接縫打膠密封。

    • 陰陽角:R≥50mm圓弧處理,無積塵死角。

  2. 門窗

    • 氣密門(EPDM密封條)+ 互鎖裝置。

    • 觀察窗用雙層鋼化玻璃(厚度≥5mm)。

  3. 地面

    • 環氧自流平(2-3mm厚)或防靜電PVC,耐磨性≥0.6g/1000r(Taber測試)。


五、空調凈化系統(HVAC)

  1. 過濾器配置

    • 三級過濾:G4初效→F8中效→H13/H14高效(末端)。

    • PAO檢漏:HEPA安裝后泄漏率≤0.01%。

  2. 溫濕度控制

    • 溫度22±2℃,濕度45±5%RH(精度±5%)。

    • 精密空調+變頻控制,能耗優化。

  3. 排風系統

    • 工藝設備(如蝕刻機)獨立排風,經HEPA過濾后排放。


六、電氣與自控

  1. 照明

    • 嵌入式LED潔凈燈(IP65),照度≥500lux(操作區)。

  2. 配電系統

    • 線管暗敷,穿線管用不銹鋼材質。

    • 防浪涌/EMC防護(精密設備專用電路)。

  3. 自動化監控

    • PLC實時監測壓差、溫濕度、粒子數,異常報警。

    • 數據存儲符合FDA 21 CFR Part 11(出口需滿足)。


七、施工流程與驗收

  1. 關鍵施工步驟

    • 彩鋼板隔斷→地面施工→風管安裝→FFU/過濾器→電氣調試→檢測驗收。

  2. 驗收標準

    項目檢測方法標準
    潔凈度粒子計數器(0.1/0.5μm)ISO 5級:≥0.1μm顆粒≤1,000/m3
    防靜電表面電阻儀地面電阻10?~10?Ω
    壓差微壓差計潔凈區>非潔凈區≥10Pa
    氣流均勻性煙霧試驗無渦流、死角

八、行業特殊要求

  1. 半導體廠

    • 微振動控制(FFU減震安裝),AMC濃度≤1ppb。

  2. 顯示屏廠

    • 防塵等級更高(≥ISO 4級),防金屬離子污染。


九、常見問題與解決

問題原因解決方案
靜電擊穿芯片地面電阻超標重新鋪設銅箔網格,檢測接地
AMC導致良率下降化學過濾器失效更換濾芯,增加活性炭吸附段
壓差異常回風墻面積不足擴大回風口,調節風閥平衡

總結

電子廠無塵車間施工需聚焦:
? 潔凈度+防靜電+AMC控制三位一體
? 材料低釋氣、密封性、防火性
? 動態驗收(生產狀態下達標)

建議選擇具備 SEMI標準案例 的工程公司,并全程監控關鍵節點(如HEPA檢漏、防靜電測試)!

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