電子廠無塵車間的施工要求需嚴格遵循 潔凈度控制、防靜電、AMC(氣態分子污染物)管理 等核心標準,以下是關鍵施工要求及技術要點:
等級標準
Class 100(ISO 5):芯片封裝區,單向流(風速0.45±0.1m/s)。
Class 1,000(ISO 6):精密裝配區,換氣次數50-100次/h。
Class 10,000(ISO 7):普通生產區,換氣次數20-50次/h。
ISO 5-8級(Class 100-100,000):
檢測標準:ISO 14644-1(≥0.1μm/0.5μm顆粒數)。
氣流設計
單向流:高潔凈區(如光刻區)采用頂送側回,FFU滿布覆蓋率≥80%。
非單向流:普通區高效送風口+回風墻(開孔率≥50%)。
地面
材料:環氧自流平(防靜電型)或PVC卷材,表面電阻 10?~10?Ω。
工藝:鋪設銅箔網格(間隔≤3m),接地電阻≤4Ω。
墻面與設備
彩鋼板/不銹鋼墻面需接地,設備工作臺安裝離子風機。
EPA(靜電防護區)標識明確,濕度控制45±5%RH。
人員防護
防靜電服/鞋/腕帶,入口設靜電檢測門禁。
化學過濾器
配置于空調機組(初效+中效+化學過濾+HEPA)。
針對 酸(HCl)、堿(NH?)、有機物(VOCs) 等污染物。
材料選擇
墻面/吊頂用低釋氣材料(如陽極氧化鋁板)。
密封膠選用無硅酮類型(避免揮發污染)。
墻體與吊頂
彩鋼板:巖棉/玻鎂夾芯(防火A級),接縫打膠密封。
陰陽角:R≥50mm圓弧處理,無積塵死角。
門窗
氣密門(EPDM密封條)+ 互鎖裝置。
觀察窗用雙層鋼化玻璃(厚度≥5mm)。
地面
環氧自流平(2-3mm厚)或防靜電PVC,耐磨性≥0.6g/1000r(Taber測試)。
過濾器配置
三級過濾:G4初效→F8中效→H13/H14高效(末端)。
PAO檢漏:HEPA安裝后泄漏率≤0.01%。
溫濕度控制
溫度22±2℃,濕度45±5%RH(精度±5%)。
精密空調+變頻控制,能耗優化。
排風系統
工藝設備(如蝕刻機)獨立排風,經HEPA過濾后排放。
照明
嵌入式LED潔凈燈(IP65),照度≥500lux(操作區)。
配電系統
線管暗敷,穿線管用不銹鋼材質。
防浪涌/EMC防護(精密設備專用電路)。
自動化監控
PLC實時監測壓差、溫濕度、粒子數,異常報警。
數據存儲符合FDA 21 CFR Part 11(出口需滿足)。
關鍵施工步驟
彩鋼板隔斷→地面施工→風管安裝→FFU/過濾器→電氣調試→檢測驗收。
驗收標準
項目 | 檢測方法 | 標準 |
---|---|---|
潔凈度 | 粒子計數器(0.1/0.5μm) | ISO 5級:≥0.1μm顆粒≤1,000/m3 |
防靜電 | 表面電阻儀 | 地面電阻10?~10?Ω |
壓差 | 微壓差計 | 潔凈區>非潔凈區≥10Pa |
氣流均勻性 | 煙霧試驗 | 無渦流、死角 |
半導體廠
微振動控制(FFU減震安裝),AMC濃度≤1ppb。
顯示屏廠
防塵等級更高(≥ISO 4級),防金屬離子污染。
問題 | 原因 | 解決方案 |
---|---|---|
靜電擊穿芯片 | 地面電阻超標 | 重新鋪設銅箔網格,檢測接地 |
AMC導致良率下降 | 化學過濾器失效 | 更換濾芯,增加活性炭吸附段 |
壓差異常 | 回風墻面積不足 | 擴大回風口,調節風閥平衡 |
電子廠無塵車間施工需聚焦:
? 潔凈度+防靜電+AMC控制三位一體
? 材料低釋氣、密封性、防火性
? 動態驗收(生產狀態下達標)
建議選擇具備 SEMI標準案例 的工程公司,并全程監控關鍵節點(如HEPA檢漏、防靜電測試)!