千級無塵車間(ISO 6級/Class 1,000)是精密電子、高端醫療器械、液晶面板制造等領域的常見潔凈等級,要求每立方米空氣中≥0.5μm的顆粒數≤35,200個。以下是針對千級潔凈室的系統性解決方案:
潔凈度標準
顆粒控制:≥0.5μm顆粒≤1,000顆/立方英尺(動態)
微生物要求:浮游菌≤100CFU/m3(制藥行業需符合GMP B級)
氣流與壓差
準單向流:非單向流為主,關鍵區域輔以局部層流(如工作臺)
換氣次數:50-80次/小時(介于百級與萬級之間)
壓差梯度:相鄰區域壓差≥8-10Pa
送風方案:高效過濾器(H13)滿布頂棚+側墻回風,或FFU+干盤管組合
空調機組:新風預處理(MAU)+循環機組(AHU),溫濕度控制精度±1℃/±5%RH
氣流組織:上送下回或上送側回,避免渦流區
三級過濾:初效(G4)→中效(F8)→高效(H13)
末端過濾:HEPA需通過MPPS(最易穿透粒徑)檢測,效率≥99.95%@0.3μm
圍護結構:玻鎂彩鋼板(防火A級),PVC焊接地板或防靜電環氧地坪
門窗設計:雙層潔凈窗(斜面防積塵),氣密門帶互鎖裝置
電子行業:
防靜電措施:銅箔接地網、離子風棒
有機廢氣(VOCs)處理:活性炭吸附+催化燃燒
醫療器械:
物料傳遞窗帶UV殺菌功能
潔凈服清洗滅菌間獨立設置
液晶面板:
化學過濾器(化學濾網)控制AMC
微振動控制(隔震地基)
智能監控系統
粒子計數器(0.5μm/5μm雙通道)與PLC聯動
壓差/溫濕度超限自動報警(聲光+短信通知)
驗證流程
空態測試:ISO 14644-1 Class 6達標
動態測試:模擬最大人員負荷(通常≤4人/100㎡)
氣流可視化:煙霧試驗驗證無死角
施工順序
2.驗收標準
國標:GB 50472-2008《電子工業潔凈廠房設計規范》
國際:ISO 14644-2015
分區控制:核心區千級,周邊區萬級(降低能耗30%)
變頻技術:風機變頻+冷量動態調節
余熱回收:新風與排風熱交換(節能15-20%)
問題現象 | 排查重點 | 解決方案 |
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換氣次數不足 | 風機頻率/過濾器阻力 | 更換中效過濾器或調高風機轉速 |
濕度波動大 | 加濕器精度/新風負荷 | 增加比例積分閥(PID控制) |
交叉污染 | 壓差傳感器失效/門未閉鎖 | 校準傳感器+安裝門禁系統 |
千級無塵車間需在百級與萬級之間取得平衡,建議采用模塊化潔凈棚或潔凈隧道實現局部高等級控制。對于持續運行場景,建議每6個月進行過濾器檢漏測試,每年做全面再驗證。