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全行業凈化工程解決方案 打造標準化無塵車間
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百級無塵車間凈化工程解決方案 無塵車間設計與施工解決方案

解決方案 2025-04-28 昊銳凈化機電 0
無塵車間裝修公司

百級無塵車間(ISO 5級/Class 100)是半導體、生物醫藥、精密光學等超高標準行業的必備環境,要求每立方米空氣中≥0.5μm的顆粒數≤3,520個(動態標準)。以下是針對百級潔凈室的全面解決方案:


一、核心設計標準

  1. 潔凈度控制

    • 顆粒限值:≥0.5μm顆粒≤100顆/立方英尺(靜態)

    • 微生物要求:浮游菌≤5CFU/m3(制藥行業需符合GMP A級)

  2. 氣流與壓差

    • 單向流(層流):垂直或水平層流,風速0.45±0.1m/s(ISO 5級)

    • 換氣次數:300-600次/小時(遠高于十萬級)

    • 壓差梯度:相鄰區域壓差≥10-15Pa(防止交叉污染)


二、關鍵系統設計

1. 空氣處理系統

  • FFU(風機過濾單元)陣列:頂部滿布HEPA(H14)或ULPA(U15)過濾器,覆蓋率≥80%

  • 循環風機組:MAU(新風機組)+DC(干盤管)組合,維持溫濕度恒定

  • 氣流組織:垂直層流(天花板FFU→高架地板回風)或開放式層流工作站

2. 高效過濾配置

  • 三級過濾:初效(G4)→中效(F9)→高效(H14/ULPA)

  • 終端過濾:HEPA/ULPA需通過PAO/DOP檢漏測試(效率≥99.999%@0.12μm)

3. 材料與結構

  • 圍護結構:電解鋼板/不銹鋼墻面(無接縫焊接),防靜電環氧自流平地面

  • 門窗設計:氣密平移門、圓弧角處理(防積塵)


三、行業特殊需求

  • 半導體行業:AMC(氣態分子污染物)控制、防振動地板

  • 生物制藥:隔離器/RABS(限制進出屏障系統)、在線粒子監測(符合FDA 21 CFR Part 11)

  • 醫療器械:滅菌隧道、生物安全柜集成


四、動態控制與監測

  1. 實時監測系統

    • 激光粒子計數器(0.1μm-5μm多通道監測)

    • 溫濕度/壓差數據自動記錄(符合GMP數據完整性要求)

  2. 自凈能力驗證

    • 從ISO 8級恢復到ISO 5級時間≤15分鐘(空態測試)


五、施工與驗證流程

  1. 施工要點

    • 潔凈室先行原則:先完成彩鋼板封閉再進行設備安裝

    • 風管焊接工藝:氬弧焊(防氧化),內壁酒精擦拭

  2. 驗收標準

    • 靜態測試:ISO 14644-1 Class 5

    • 動態測試:模擬生產狀態(人員/設備運行)

    • GMP認證:需額外進行煙霧流型測試、風速均勻性檢測


六、成本優化策略

  • 局部百級:僅核心工藝區采用層流罩/潔凈工作臺

  • 節能設計:變頻FFU、VAV(變風量)控制系統

  • 模塊化安裝:預制潔凈室模塊縮短工期30%


七、常見問題解決方案

  • 顆粒反復超標:檢查FFU電機故障或過濾器密封條老化

  • 風速不均:調整FFU轉速或增加導流板

  • 靜電積聚:增設離子風機,濕度控制50±5%


百級無塵車間需通過“設計-施工-驗證-運維”全生命周期管理,建議結合ESD防護、AMC控制等高級需求進行定制化設計。對于關鍵行業(如芯片光刻區),需達到ISO 4級(十級)甚至更高標準。

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