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無(wú)塵車間設(shè)計(jì)基礎(chǔ)與原則

技術(shù)分享 2025-07-08 昊銳凈化機(jī)電 0

無(wú)塵車間(Cleanroom)是一種通過(guò)控制空氣中的微粒、溫濕度、壓力、氣流等參數(shù),以滿足特定生產(chǎn)工藝或?qū)嶒?yàn)需求的環(huán)境。其設(shè)計(jì)需要遵循嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)和科學(xué)原則,以確保環(huán)境參數(shù)符合行業(yè)要求。


一、無(wú)塵車間設(shè)計(jì)的基本原則

  1. 污染控制原則

    • 源頭控制:減少污染物產(chǎn)生(如人員、設(shè)備、材料帶入的微粒)。

    • 過(guò)程控制:通過(guò)氣流組織、壓差管理、過(guò)濾系統(tǒng)等防止污染物擴(kuò)散。

    • 末端控制:采用高效過(guò)濾器(HEPA/ULPA)去除空氣中的微粒。

  2. 氣流組織原則

    • 單向流(層流):氣流以均勻速度平行流動(dòng)(適用于高潔凈度區(qū)域,如ISO 5級(jí))。

    • 非單向流(亂流):氣流呈不規(guī)則流動(dòng)(適用于較低潔凈度區(qū)域,如ISO 7-8級(jí))。

  3. 壓差控制原則

    • 正壓控制:潔凈度高的區(qū)域壓力應(yīng)高于相鄰低潔凈區(qū)(防止外部污染進(jìn)入)。

    • 負(fù)壓控制:用于生物安全實(shí)驗(yàn)室或有毒物質(zhì)操作區(qū)(防止內(nèi)部污染外泄)。

  4. 材料與表面處理原則

    • 光滑、不產(chǎn)塵:墻面、地面、天花板應(yīng)采用無(wú)縫隙、易清潔的材料(如彩鋼板、環(huán)氧自流坪)。

    • 防靜電:電子行業(yè)需采用防靜電地板、墻面材料。

  5. 人機(jī)物凈化原則

    • 人員凈化:設(shè)置風(fēng)淋室、更衣間、洗手消毒設(shè)施。

    • 物料凈化:采用傳遞窗、物料氣閘室。

    • 設(shè)備凈化:設(shè)備進(jìn)車間前需清潔,避免帶入微粒。


二、潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室等級(jí)通常按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(如 ISO 14644-1 或美國(guó) FS 209E)劃分,主要依據(jù)單位體積空氣中的微粒數(shù)量。

ISO 等級(jí)FS 209E 等效≥0.5μm 粒子最大允許數(shù)量(每立方米)典型應(yīng)用
ISO 1-≤10半導(dǎo)體光刻
ISO 3Class 1≤1,000芯片制造
ISO 5Class 100≤100,000制藥無(wú)菌灌裝
ISO 7Class 10,000≤10,000,000醫(yī)療器械生產(chǎn)
ISO 8Class 100,000≤100,000,000食品包裝

不同行業(yè)對(duì)潔凈度的典型要求:

  • 電子行業(yè)(半導(dǎo)體、芯片):ISO 1-5(Class 1-100)

  • 制藥行業(yè)(無(wú)菌生產(chǎn)):ISO 5-7(Class 100-10,000)

  • 醫(yī)療器械:ISO 7-8(Class 10,000-100,000)

  • 食品行業(yè):ISO 8(Class 100,000)


三、氣流組織設(shè)計(jì)

1. 單向流(層流)設(shè)計(jì)

  • 特點(diǎn):氣流以均勻速度(通常 0.3~0.5 m/s)單向流動(dòng),快速帶走污染物。

  • 應(yīng)用:高潔凈度區(qū)域(ISO 1-5級(jí)),如手術(shù)室、芯片制造、無(wú)菌灌裝區(qū)。

  • 實(shí)現(xiàn)方式

    • 垂直層流:FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)安裝在頂部,回風(fēng)在地面。

    • 水平層流:送風(fēng)墻+對(duì)面回風(fēng)墻(適用于狹長(zhǎng)空間)。

2. 非單向流(亂流)設(shè)計(jì)

  • 特點(diǎn):氣流呈不規(guī)則流動(dòng),靠稀釋作用降低污染濃度。

  • 應(yīng)用:較低潔凈度區(qū)域(ISO 6-8級(jí)),如包裝區(qū)、更衣室。

  • 實(shí)現(xiàn)方式

    • 頂送側(cè)回:高效過(guò)濾器送風(fēng),側(cè)墻回風(fēng)。

    • 擴(kuò)散送風(fēng):通過(guò)散流器均勻送風(fēng)。

3. 混合流設(shè)計(jì)

  • 特點(diǎn):結(jié)合單向流和亂流,核心區(qū)域用層流,周邊用亂流。

  • 應(yīng)用:部分制藥車間、電子組裝區(qū)。


四、不同行業(yè)的無(wú)塵車間設(shè)計(jì)要點(diǎn)

1. 電子行業(yè)(半導(dǎo)體、芯片制造)

  • 潔凈度要求:ISO 1-5(Class 1-100)

  • 關(guān)鍵設(shè)計(jì)

    • 超高效過(guò)濾(ULPA):過(guò)濾 0.1μm 微粒。

    • 防靜電(ESD):防靜電地板、離子風(fēng)機(jī)。

    • AMC(氣態(tài)分子污染物)控制:化學(xué)過(guò)濾器去除酸性/堿性氣體。

    • 微振動(dòng)控制:設(shè)備需防震基礎(chǔ)。

2. 制藥行業(yè)(無(wú)菌生產(chǎn))

  • 潔凈度要求:ISO 5-7(Class 100-10,000)

  • 關(guān)鍵設(shè)計(jì)

    • GMP 合規(guī):符合 FDA/EMA 規(guī)范。

    • 無(wú)菌屏障:RABS(限制進(jìn)出屏障系統(tǒng))或隔離器。

    • 消毒方式:VHP(汽化過(guò)氧化氫)滅菌。

    • 單向流保護(hù):關(guān)鍵操作區(qū)(如灌裝線)必須用層流罩。

3. 醫(yī)療器械行業(yè)

  • 潔凈度要求:ISO 7-8(Class 10,000-100,000)

  • 關(guān)鍵設(shè)計(jì)

    • 易清潔表面:無(wú)死角、圓弧角設(shè)計(jì)。

    • 生物安全:部分區(qū)域需負(fù)壓控制(如病毒檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室)。

4. 食品行業(yè)

  • 潔凈度要求:ISO 8(Class 100,000)

  • 關(guān)鍵設(shè)計(jì)

    • 防霉抗菌:墻面、地面用抗菌涂層。

    • 溫濕度控制:防止微生物滋生。


五、總結(jié)

設(shè)計(jì)要素關(guān)鍵原則
潔凈等級(jí)根據(jù)行業(yè)選擇(電子最高,食品較低)
氣流組織高潔凈度用單向流,低潔凈度用亂流
壓差控制潔凈區(qū)>緩沖區(qū)>非潔凈區(qū)(正壓);生物安全區(qū)用負(fù)壓
材料選擇不產(chǎn)塵、易清潔、防靜電(電子)、抗菌(食品)
人機(jī)物凈化風(fēng)淋室、傳遞窗、設(shè)備清潔程序

設(shè)計(jì)核心目標(biāo):在滿足生產(chǎn)工藝需求的同時(shí),確保潔凈室長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,符合行業(yè)法規(guī)(GMP、ISO、FDA等)。

如果需要更深入的具體行業(yè)設(shè)計(jì)案例或計(jì)算(如換氣次數(shù)、壓差計(jì)算等),可以進(jìn)一步探討!

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