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昊銳凈化工程無塵車間裝修成功案例:賦能半導體企業提升制造競爭力

技術分享 2025-06-30 昊銳凈化機電 0

在半導體制造領域,一顆微米級的塵埃粒子就可能導致價值不菲的芯片報廢。對生產環境近乎苛刻的要求——尤其是對空氣懸浮微粒(AMC)和溫濕度的精密控制——直接決定了產品的良率與企業的核心競爭力。無塵車間,就是半導體制造的“生命線”。

無塵車間裝修2

客戶背景與挑戰:
客戶是國內一家專注于高端芯片封裝測試的領軍企業。原有車間面臨嚴峻挑戰:

  1. 潔凈度波動: 關鍵區域(如芯片貼裝、鍵合)潔凈度(原目標ISO Class 5)時常超標,導致產品缺陷率居高不下。

  2. 能耗黑洞: 老舊的HVAC系統效率低下,溫濕度控制不穩定,能耗巨大。

  3. 布局掣肘: 原有車間流線混亂,人物流交叉嚴重,存在污染風險,且無法適應新增精密設備需求。

  4. 合規壓力: 亟需滿足更嚴格的ISO 14644標準和內部質量控制體系升級要求。

新項目要求極高:

  • 潔凈等級: 核心工藝區穩定達到并維持 ISO Class 5 (Class 100),AMC控制達標。

  • 環境控制: 溫度精度 ±0.5°C,濕度精度 ±3% RH

  • 壓差梯度: 建立嚴格、穩定的壓差序列,確保潔凈區絕對正壓。

  • 特殊要求: 關鍵區域需 永久性防靜電(ESD) 保護。

  • 合規認證: 必須通過權威第三方 ISO 14644認證

昊銳凈化工程的解決方案:

面對挑戰,昊銳團隊深入剖析客戶工藝流與痛點,量身定制高效可靠的解決方案:

  1. 工藝驅動的優化設計:

    • 基于芯片封裝測試的核心流程(如進料→清洗→貼片→鍵合→測試→出料),采用單向流設計,徹底杜絕人物流交叉污染。

    • 精密設備布局優先,預留充足維護空間及未來擴展接口。

    • 核心工藝區(貼裝、鍵合)采用 FFU+高架地板 垂直層流系統,保障最高潔凈度。

    • 全面應用 永久性防靜電(ESD)PVC地板防靜電涂層彩鋼板墻面/吊頂

  2. 核心工藝亮點:

    • 更衣室: 嚴格三級緩沖設計(一更、二更、氣閘),配備 智能門禁互鎖系統壓差實時監控

    • 物料傳遞: 設置帶 自凈功能 的傳遞窗及充氣式氣密門。

    • 應用 變頻多聯機+深度除濕轉輪 組合方案,實現溫濕度 獨立精準控制(±0.3°C, ±2% RH)。

    • 采用 高效節能風機(EC電機)智能風量平衡閥,結合 熱回收技術,整體能耗較舊系統 降低超30%

    • 頂級圍護結構: 采用 50mm厚機制巖棉彩鋼板(A級防火),表面特殊 抗刮耐磨、防靜電涂層,確保氣密性、耐久性與潔凈度。

    • 先進節能HVAC系統:

    • 關鍵區域強化:

    • 智能化監控: 集成 BMS環境監控系統,實時在線監測并記錄 粒子數、溫濕度、壓差、風速 等關鍵參數,超標自動報警,數據可追溯,滿足 ISO 14644 電子記錄要求

    • 合規性保障: 設計施工嚴格遵循 ISO 14644、IEST、SEMI標準,文件體系完整,為順利認證奠定基礎。

  3. 攻堅克難:

    • 高密封挑戰: 針對高架地板下送風空間,采用 特殊密封工藝激光水平儀校準,確保全區域氣密性無死角。

    • 復雜交叉作業: 利用 BIM技術 進行施工模擬,精確協調凈化裝修、機電、工藝設備等多方進場順序,高效推進。

項目成果與價值:

  • 潔凈度卓越: 核心工藝區穩定達到并超越 ISO Class 5 (0.3μm粒子濃度<29個/m3),AMC指標完全達標。

  • 控制精準: 溫濕度控制精度 ±0.3°C / ±2% RH,壓差梯度穩定可靠。

  • 權威認證: 一次性通過 國家權威檢測機構 的全面檢測及 ISO 14644-1 & 14644-3 認證

  • 客戶效益顯著:

    • 良率飆升: 芯片封裝缺陷率 降低15%,年增效益超千萬元。

    • 安全合規: 生產環境完全滿足國際標準與客戶審計要求。

    • 能耗銳減: 全新HVAC系統助力整體能耗 降低32%

    • 柔性增強: 優化布局與預留接口,支持未來產能快速擴充。

  • 客戶高度認可: “昊銳的解決方案不僅解決了我們潔凈度的燃眉之急,其卓越的節能設計和智能化管控,更讓我們在成本和效率上獲得了雙重優勢,是真正的戰略合作伙伴。” —— 客戶項目負責人

結語:

昊銳凈化工程深耕 半導體、生物醫藥、精密制造 領域多年,深刻理解高精尖產業對潔凈環境的嚴苛需求與獨特挑戰。我們不止于交付一個“達標”的無塵車間,更致力于打造能 顯著提升您良率、效率與合規競爭力 的高附加值潔凈空間解決方案。

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