在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,一顆微米級(jí)的塵埃粒子就可能導(dǎo)致價(jià)值不菲的芯片報(bào)廢。對(duì)生產(chǎn)環(huán)境近乎苛刻的要求——尤其是對(duì)空氣懸浮微粒(AMC)和溫濕度的精密控制——直接決定了產(chǎn)品的良率與企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力。無(wú)塵車間,就是半導(dǎo)體制造的“生命線”。
客戶背景與挑戰(zhàn):
客戶是國(guó)內(nèi)一家專注于高端芯片封裝測(cè)試的領(lǐng)軍企業(yè)。原有車間面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn):
潔凈度波動(dòng): 關(guān)鍵區(qū)域(如芯片貼裝、鍵合)潔凈度(原目標(biāo)ISO Class 5)時(shí)常超標(biāo),導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷率居高不下。
能耗黑洞: 老舊的HVAC系統(tǒng)效率低下,溫濕度控制不穩(wěn)定,能耗巨大。
布局掣肘: 原有車間流線混亂,人物流交叉嚴(yán)重,存在污染風(fēng)險(xiǎn),且無(wú)法適應(yīng)新增精密設(shè)備需求。
合規(guī)壓力: 亟需滿足更嚴(yán)格的ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)和內(nèi)部質(zhì)量控制體系升級(jí)要求。
新項(xiàng)目要求極高:
潔凈等級(jí): 核心工藝區(qū)穩(wěn)定達(dá)到并維持 ISO Class 5 (Class 100),AMC控制達(dá)標(biāo)。
環(huán)境控制: 溫度精度 ±0.5°C,濕度精度 ±3% RH。
壓差梯度: 建立嚴(yán)格、穩(wěn)定的壓差序列,確保潔凈區(qū)絕對(duì)正壓。
特殊要求: 關(guān)鍵區(qū)域需 永久性防靜電(ESD) 保護(hù)。
合規(guī)認(rèn)證: 必須通過(guò)權(quán)威第三方 ISO 14644認(rèn)證。
昊銳凈化工程的解決方案:
面對(duì)挑戰(zhàn),昊銳團(tuán)隊(duì)深入剖析客戶工藝流與痛點(diǎn),量身定制高效可靠的解決方案:
工藝驅(qū)動(dòng)的優(yōu)化設(shè)計(jì):
基于芯片封裝測(cè)試的核心流程(如進(jìn)料→清洗→貼片→鍵合→測(cè)試→出料),采用單向流設(shè)計(jì),徹底杜絕人物流交叉污染。
精密設(shè)備布局優(yōu)先,預(yù)留充足維護(hù)空間及未來(lái)擴(kuò)展接口。
核心工藝區(qū)(貼裝、鍵合)采用 FFU+高架地板 垂直層流系統(tǒng),保障最高潔凈度。
全面應(yīng)用 永久性防靜電(ESD)PVC地板 及 防靜電涂層彩鋼板墻面/吊頂。
核心工藝亮點(diǎn):
更衣室: 嚴(yán)格三級(jí)緩沖設(shè)計(jì)(一更、二更、氣閘),配備 智能門禁互鎖系統(tǒng) 及 壓差實(shí)時(shí)監(jiān)控。
物料傳遞: 設(shè)置帶 自凈功能 的傳遞窗及充氣式氣密門。
應(yīng)用 變頻多聯(lián)機(jī)+深度除濕轉(zhuǎn)輪 組合方案,實(shí)現(xiàn)溫濕度 獨(dú)立精準(zhǔn)控制(±0.3°C, ±2% RH)。
采用 高效節(jié)能風(fēng)機(jī)(EC電機(jī)) 及 智能風(fēng)量平衡閥,結(jié)合 熱回收技術(shù),整體能耗較舊系統(tǒng) 降低超30%。
頂級(jí)圍護(hù)結(jié)構(gòu): 采用 50mm厚機(jī)制巖棉彩鋼板(A級(jí)防火),表面特殊 抗刮耐磨、防靜電涂層,確保氣密性、耐久性與潔凈度。
先進(jìn)節(jié)能HVAC系統(tǒng):
關(guān)鍵區(qū)域強(qiáng)化:
智能化監(jiān)控: 集成 BMS環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng),實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)并記錄 粒子數(shù)、溫濕度、壓差、風(fēng)速 等關(guān)鍵參數(shù),超標(biāo)自動(dòng)報(bào)警,數(shù)據(jù)可追溯,滿足 ISO 14644 電子記錄要求。
合規(guī)性保障: 設(shè)計(jì)施工嚴(yán)格遵循 ISO 14644、IEST、SEMI標(biāo)準(zhǔn),文件體系完整,為順利認(rèn)證奠定基礎(chǔ)。
攻堅(jiān)克難:
高密封挑戰(zhàn): 針對(duì)高架地板下送風(fēng)空間,采用 特殊密封工藝 與 激光水平儀校準(zhǔn),確保全區(qū)域氣密性無(wú)死角。
復(fù)雜交叉作業(yè): 利用 BIM技術(shù) 進(jìn)行施工模擬,精確協(xié)調(diào)凈化裝修、機(jī)電、工藝設(shè)備等多方進(jìn)場(chǎng)順序,高效推進(jìn)。
項(xiàng)目成果與價(jià)值:
潔凈度卓越: 核心工藝區(qū)穩(wěn)定達(dá)到并超越 ISO Class 5 (0.3μm粒子濃度<29個(gè)/m3),AMC指標(biāo)完全達(dá)標(biāo)。
控制精準(zhǔn): 溫濕度控制精度 ±0.3°C / ±2% RH,壓差梯度穩(wěn)定可靠。
權(quán)威認(rèn)證: 一次性通過(guò) 國(guó)家權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu) 的全面檢測(cè)及 ISO 14644-1 & 14644-3 認(rèn)證。
客戶效益顯著:
良率飆升: 芯片封裝缺陷率 降低15%,年增效益超千萬(wàn)元。
安全合規(guī): 生產(chǎn)環(huán)境完全滿足國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)與客戶審計(jì)要求。
能耗銳減: 全新HVAC系統(tǒng)助力整體能耗 降低32%。
柔性增強(qiáng): 優(yōu)化布局與預(yù)留接口,支持未來(lái)產(chǎn)能快速擴(kuò)充。
客戶高度認(rèn)可: “昊銳的解決方案不僅解決了我們潔凈度的燃眉之急,其卓越的節(jié)能設(shè)計(jì)和智能化管控,更讓我們?cè)诔杀竞托噬汐@得了雙重優(yōu)勢(shì),是真正的戰(zhàn)略合作伙伴。” —— 客戶項(xiàng)目負(fù)責(zé)人
結(jié)語(yǔ):
昊銳凈化工程深耕 半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、精密制造 領(lǐng)域多年,深刻理解高精尖產(chǎn)業(yè)對(duì)潔凈環(huán)境的嚴(yán)苛需求與獨(dú)特挑戰(zhàn)。我們不止于交付一個(gè)“達(dá)標(biāo)”的無(wú)塵車間,更致力于打造能 顯著提升您良率、效率與合規(guī)競(jìng)爭(zhēng)力 的高附加值潔凈空間解決方案。