工藝參數(shù)：生產(chǎn)設(shè)備布局圖、發(fā)熱量、排氣量（需區(qū)分一般排氣與有機(jī)廢氣）

環(huán)境要求：潔凈度等級(jí)（動(dòng)態(tài)/靜態(tài)）、溫濕度控制精度（±1℃/±5%RH）、壓差梯度（5-20Pa）

建筑條件：原結(jié)構(gòu)荷載（建議≥800kg/m2）、層高（需預(yù)留技術(shù)夾層≥1.2m）

動(dòng)力參數(shù)：電力負(fù)荷（含UPS需求）、純水/氣體供給點(diǎn)位、廢水處理要求