工藝參數：生產設備布局圖、發(fā)熱量、排氣量（需區(qū)分一般排氣與有機廢氣）
環(huán)境要求：潔凈度等級（動態(tài)/靜態(tài)）、溫濕度控制精度（±1℃/±5%RH）、壓差梯度（5-20Pa）
建筑條件：原結構荷載（建議≥800kg/m2）、層高（需預留技術夾層≥1.2m）
動力參數：電力負荷（含UPS需求）、純水/氣體供給點位、廢水處理要求
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