不同等級的無塵車間(潔凈室)換氣次數需嚴格遵循 ISO 14644-1 和 行業專項標準(如GMP、SEMI)。以下是各潔凈等級的換氣次數范圍及設計要點:
潔凈等級 | ≥0.5μm顆粒限值(顆/m3) | 換氣次數(次/h) | 氣流形式 | 適用場景 |
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ISO 1 | ≤10 | 500-600+ | 單向流(層流) | 納米技術、光刻機環境 |
ISO 3 | ≤1,000 | 300-500 | 單向流 | 半導體芯片制造 |
ISO 5 | ≤3,520 | 300-600 | 單向流 | 無菌灌裝、IC封裝(百級) |
ISO 6 | ≤35,200 | 50-100 | 單向流/非單向流 | 精密光學組件 |
ISO 7 | ≤352,000 | 20-50 | 非單向流(亂流) | 醫療器械、液晶面板(萬級) |
ISO 8 | ≤3,520,000 | 10-20 | 非單向流 | 食品包裝、電子組裝(十萬級) |
GMP等級 | 動態/靜態標準 | 換氣次數(次/h) | 附加要求 |
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A級 | 動態ISO 5,靜態ISO 5 | 300-600(單向流) | 風速0.45±0.1m/s,在線監測 |
B級 | 動態ISO 7,靜態ISO 5 | 50-60 | 背景區支持A級,高效送風口全覆蓋 |
C級 | 動態ISO 8,靜態ISO 7 | 20-30 | 中效+高效過濾,人流/物流分流 |
D級 | 動態ISO 8,靜態ISO 8 | 10-15 | 基礎潔凈環境 |
SEMI等級 | 顆粒控制(μm) | 換氣次數(次/h) | 關鍵措施 |
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Class 1 | 0.1 | 300-400 | ULPA過濾器+AMC控制+微振動隔離 |
Class 10 | 0.2 | 150-250 | 防靜電系統+溫濕度±0.5℃控制 |
Class 100 | 0.5 | 50-80 | HEPA全覆蓋+離子風機 |
單向流(層流)
ISO 1-5級:通過高風速(0.3-0.5m/s)實現顆粒垂直置換,換氣次數≥300次/h。
核心公式:換氣次數=風速(m/s)×3600/房間高度(m)。
非單向流(亂流)
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ISO 6-8級:依賴稀釋效應,換氣次數與污染源強度正相關:
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動態調整
變頻控制:根據壓差、粒子數實時調節風量(如生產時段20次/h,非生產時段10次/h)。
行業 | 典型等級 | 換氣次數(次/h) | 特殊需求 |
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半導體 | ISO 3-5 | 300-600 | AMC控制+防金屬污染 |
制藥 | GMP B/C | 20-60 | 無菌環境+耐消毒材料 |
食品 | ISO 8 | 10-15 | 防霉+易清潔 |
實驗室 | ISO 5-7 | 30-100 | 負壓控制+HEPA排風 |
Q:換氣次數是否越高越好?
A:否!過高會導致能耗激增(如ISO 5級能耗是ISO 8級的5-8倍),需平衡潔凈度與成本。
Q:如何驗證換氣次數是否達標?
A:
風量罩測試:測量所有送風口總風量 ÷ 房間體積。
粒子計數法:動態生產時檢測顆粒濃度是否達標。
局部凈化:僅工作區采用高換氣次數(如FFU覆蓋操作臺)。
熱回收:排風能量預熱新風(節能30%+)。
智能控制:根據傳感器數據自動調節風機轉速。
不同等級無塵車間的換氣次數從 10次/h(ISO 8)到600次/h(ISO 1),需根據:
? 潔凈度要求(顆粒/微生物限值)
? 氣流形式(單向流/亂流)
? 行業規范(GMP/SEMI)
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