不同等級的無塵車間(潔凈室)換氣次數(shù)需嚴(yán)格遵循 ISO 14644-1 和 行業(yè)專項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)(如GMP、SEMI)。以下是各潔凈等級的換氣次數(shù)范圍及設(shè)計(jì)要點(diǎn):
| 潔凈等級 | ≥0.5μm顆粒限值(顆/m3) | 換氣次數(shù)(次/h) | 氣流形式 | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| ISO 1 | ≤10 | 500-600+ | 單向流(層流) | 納米技術(shù)、光刻機(jī)環(huán)境 |
| ISO 3 | ≤1,000 | 300-500 | 單向流 | 半導(dǎo)體芯片制造 |
| ISO 5 | ≤3,520 | 300-600 | 單向流 | 無菌灌裝、IC封裝(百級) |
| ISO 6 | ≤35,200 | 50-100 | 單向流/非單向流 | 精密光學(xué)組件 |
| ISO 7 | ≤352,000 | 20-50 | 非單向流(亂流) | 醫(yī)療器械、液晶面板(萬級) |
| ISO 8 | ≤3,520,000 | 10-20 | 非單向流 | 食品包裝、電子組裝(十萬級) |
| GMP等級 | 動(dòng)態(tài)/靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn) | 換氣次數(shù)(次/h) | 附加要求 |
|---|---|---|---|
| A級 | 動(dòng)態(tài)ISO 5,靜態(tài)ISO 5 | 300-600(單向流) | 風(fēng)速0.45±0.1m/s,在線監(jiān)測 |
| B級 | 動(dòng)態(tài)ISO 7,靜態(tài)ISO 5 | 50-60 | 背景區(qū)支持A級,高效送風(fēng)口全覆蓋 |
| C級 | 動(dòng)態(tài)ISO 8,靜態(tài)ISO 7 | 20-30 | 中效+高效過濾,人流/物流分流 |
| D級 | 動(dòng)態(tài)ISO 8,靜態(tài)ISO 8 | 10-15 | 基礎(chǔ)潔凈環(huán)境 |
| SEMI等級 | 顆粒控制(μm) | 換氣次數(shù)(次/h) | 關(guān)鍵措施 |
|---|---|---|---|
| Class 1 | 0.1 | 300-400 | ULPA過濾器+AMC控制+微振動(dòng)隔離 |
| Class 10 | 0.2 | 150-250 | 防靜電系統(tǒng)+溫濕度±0.5℃控制 |
| Class 100 | 0.5 | 50-80 | HEPA全覆蓋+離子風(fēng)機(jī) |
單向流(層流)
ISO 1-5級:通過高風(fēng)速(0.3-0.5m/s)實(shí)現(xiàn)顆粒垂直置換,換氣次數(shù)≥300次/h。
核心公式:換氣次數(shù)=風(fēng)速(m/s)×3600/房間高度(m)。
非單向流(亂流)
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ISO 6-8級:依賴稀釋效應(yīng),換氣次數(shù)與污染源強(qiáng)度正相關(guān):
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動(dòng)態(tài)調(diào)整
變頻控制:根據(jù)壓差、粒子數(shù)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)風(fēng)量(如生產(chǎn)時(shí)段20次/h,非生產(chǎn)時(shí)段10次/h)。
| 行業(yè) | 典型等級 | 換氣次數(shù)(次/h) | 特殊需求 |
|---|---|---|---|
| 半導(dǎo)體 | ISO 3-5 | 300-600 | AMC控制+防金屬污染 |
| 制藥 | GMP B/C | 20-60 | 無菌環(huán)境+耐消毒材料 |
| 食品 | ISO 8 | 10-15 | 防霉+易清潔 |
| 實(shí)驗(yàn)室 | ISO 5-7 | 30-100 | 負(fù)壓控制+HEPA排風(fēng) |
Q:換氣次數(shù)是否越高越好?
A:否!過高會(huì)導(dǎo)致能耗激增(如ISO 5級能耗是ISO 8級的5-8倍),需平衡潔凈度與成本。
Q:如何驗(yàn)證換氣次數(shù)是否達(dá)標(biāo)?
A:
風(fēng)量罩測試:測量所有送風(fēng)口總風(fēng)量 ÷ 房間體積。
粒子計(jì)數(shù)法:動(dòng)態(tài)生產(chǎn)時(shí)檢測顆粒濃度是否達(dá)標(biāo)。
局部凈化:僅工作區(qū)采用高換氣次數(shù)(如FFU覆蓋操作臺(tái))。
熱回收:排風(fēng)能量預(yù)熱新風(fēng)(節(jié)能30%+)。
智能控制:根據(jù)傳感器數(shù)據(jù)自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速。
不同等級無塵車間的換氣次數(shù)從 10次/h(ISO 8)到600次/h(ISO 1),需根據(jù):
? 潔凈度要求(顆粒/微生物限值)
? 氣流形式(單向流/亂流)
? 行業(yè)規(guī)范(GMP/SEMI)
精準(zhǔn)設(shè)計(jì),并通過動(dòng)態(tài)測試驗(yàn)證有效性!