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不同等級的無塵車間對應的換氣次數

技術分享 2025-04-08 昊銳凈化機電 0

不同等級的無塵車間(潔凈室)換氣次數需嚴格遵循 ISO 14644-1行業專項標準(如GMP、SEMI)。以下是各潔凈等級的換氣次數范圍及設計要點:


一、國際標準(ISO 14644-1)

潔凈等級≥0.5μm顆粒限值(顆/m3)換氣次數(次/h)氣流形式適用場景
ISO 1≤10500-600+單向流(層流)納米技術、光刻機環境
ISO 3≤1,000300-500單向流半導體芯片制造
ISO 5≤3,520300-600單向流無菌灌裝、IC封裝(百級)
ISO 6≤35,20050-100單向流/非單向流精密光學組件
ISO 7≤352,00020-50非單向流(亂流)醫療器械、液晶面板(萬級)
ISO 8≤3,520,00010-20非單向流食品包裝、電子組裝(十萬級)

二、藥品行業(GMP標準)

GMP等級動態/靜態標準換氣次數(次/h)附加要求
A級動態ISO 5,靜態ISO 5300-600(單向流)風速0.45±0.1m/s,在線監測
B級動態ISO 7,靜態ISO 550-60背景區支持A級,高效送風口全覆蓋
C級動態ISO 8,靜態ISO 720-30中效+高效過濾,人流/物流分流
D級動態ISO 8,靜態ISO 810-15基礎潔凈環境

三、電子行業(SEMI標準)

SEMI等級顆粒控制(μm)換氣次數(次/h)關鍵措施
Class 10.1300-400ULPA過濾器+AMC控制+微振動隔離
Class 100.2150-250防靜電系統+溫濕度±0.5℃控制
Class 1000.550-80HEPA全覆蓋+離子風機

四、換氣次數設計要點

  1. 單向流(層流)

    • ISO 1-5級:通過高風速(0.3-0.5m/s)實現顆粒垂直置換,換氣次數≥300次/h。

    • 核心公式:換氣次數=風速(m/s)×3600/房間高度(m)。

  2. 非單向流(亂流)

    • <math xmlns="http://www.w3.org/1998/Math/MathML">C0</math>: 初始濃度,<math xmlns="http://www.w3.org/1998/Math/MathML">C</math>: 目標濃度,<math xmlns="http://www.w3.org/1998/Math/MathML">t</math>: 時間,<math xmlns="http://www.w3.org/1998/Math/MathML">k</math>: 安全系數(1.2-1.5)。

    • ISO 6-8級:依賴稀釋效應,換氣次數與污染源強度正相關:

      <math xmlns="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="block">換氣次數=ln?(C0/C)t×k</math>

  3. 動態調整

    • 變頻控制:根據壓差、粒子數實時調節風量(如生產時段20次/h,非生產時段10次/h)。


五、行業應用差異

行業典型等級換氣次數(次/h)特殊需求
半導體ISO 3-5300-600AMC控制+防金屬污染
制藥GMP B/C20-60無菌環境+耐消毒材料
食品ISO 810-15防霉+易清潔
實驗室ISO 5-730-100負壓控制+HEPA排風

六、常見問題解答

Q:換氣次數是否越高越好?
A:否!過高會導致能耗激增(如ISO 5級能耗是ISO 8級的5-8倍),需平衡潔凈度與成本。

Q:如何驗證換氣次數是否達標?
A:

  1. 風量罩測試:測量所有送風口總風量 ÷ 房間體積。

  2. 粒子計數法:動態生產時檢測顆粒濃度是否達標。


七、節能優化方案

  1. 局部凈化:僅工作區采用高換氣次數(如FFU覆蓋操作臺)。

  2. 熱回收:排風能量預熱新風(節能30%+)。

  3. 智能控制:根據傳感器數據自動調節風機轉速。


總結

不同等級無塵車間的換氣次數從 10次/h(ISO 8)到600次/h(ISO 1),需根據:
? 潔凈度要求(顆粒/微生物限值)
? 氣流形式(單向流/亂流)
? 行業規范(GMP/SEMI)
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