潔凈度等級是衡量無塵車間性能的生命線,直接決定產品良率與合規性。掌握ISO 14644標準及潔凈環境控制原理,是設計高效無塵車間的基礎。本文深度解析國際標準核心參數與落地實施方案,助您精準規劃凈化工程。
通過單位立方米空氣中微粒數量與粒徑劃分9個等級(ISO Class 1-9),關鍵指標:
潔凈度等級 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥1μm | ≥5μm |
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ISO 1 | 10 | 2 | - | - | - | - |
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | - |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO 6 | - | - | - | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO 7 | - | - | - | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
ISO 8 | - | - | - | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
ISO 9 | - | - | - | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
ISO 5級(Class 100):芯片光刻核心區、心臟手術室、疫苗無菌灌裝
ISO 7級(Class 10,000):胰島素生產車間、人工關節裝配線
ISO 8級(Class 100,000):鋰電池注液車間、IVD試劑分裝區
精度要求:溫度±0.5℃(半導體)、濕度±5%RH(鋰電車間)
特殊場景:光刻區需≤35%RH防靜電,生物實驗室需45-60%RH抑菌
核心原則:潔凈區壓力 > 緩沖區 > 非潔凈區(階梯壓差≥5Pa)
動態控制:采用變風量閥(VAV)實時調節,波動范圍≤±1Pa
類型 | 原理 | 適用場景 | 局限性 |
---|---|---|---|
層流 | 單向垂直/水平氣流 | ISO 3-5級核心區 | 能耗高 |
湍流 | 高效過濾器頂部送風 | ISO 6-8級普通區 | 自凈時間較長 |
ISO 5級:400-600次/小時
ISO 7級:60-90次/小時
ISO 8級:20-40次/小時
注:實際值需根據產塵量、人員密度動態計算
人物流分離:設置負壓氣閘室、物料傳遞窗(VHP滅菌型)
梯度凈化:遵循“臟區→緩沖→潔凈”三級過渡原則
墻體:50mm厚巖棉彩鋼板(接縫密封膠+金屬壓條)
地面:環氧自流平(2.5mm厚度,R30圓弧踢腳線)
區域 | 過濾器組合 | 效率要求 |
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新風段 | G4+F8 | 過濾≥5μm顆粒 |
空調送風段 | F8+H13 HEPA | 過濾≥0.3μm顆粒99.97% |
ISO 5級區 | H13 HEPA+U15 ULPA | 過濾≥0.12μm顆粒99.9995% |
風機變頻控制:根據壓差傳感器自動調節轉速
冷熱補償系統:應對設備啟停導致的負荷突變
吊頂/墻面:防靜電PVC覆膜彩鋼板
燈具:304不銹鋼嵌入型潔凈燈
門窗:陽極氧化鋁型材+雙層中空玻璃
結語
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