電子行業無塵車間（尤其是半導體、顯示面板、PCB等精密制造領域）的裝修標準需兼顧 微粒控制、靜電防護、化學污染防控 三大核心需求，同時滿足 ISO 14644 和 行業特殊標準（如SEMI、IEST等）。以下是關鍵要點解析：
| 對比維度 | 醫藥行業無塵車間 | 電子行業無塵車間 |
|---|---|---|
| 核心目標 | 微生物+微粒控制 | 亞微米級微粒+靜電+AMC（氣態分子污染物）控制 |
| 關鍵風險 | 細菌、內毒素污染 | 靜電放電（ESD）、金屬離子、硅油揮發 |
| 潔凈度等級 | A/B級（ISO 5）為主 | ISO 3-5級（Class 1-100）更高要求 |
| 材料重點 | 耐腐蝕、易滅菌 | 防靜電、低析出、化學惰性 |
| 氣流控制 | 單向流保護產品 | 單向流+溫濕度精密控制（±0.5℃） |
| 工藝區域 | ISO等級 | 特殊要求 |
|---|---|---|
| 光刻區 | ISO 3（Class 1） | 控制≥0.1μm粒子，AMC（如NH?、SO?）<1ppb |
| 晶圓制造區 | ISO 4（Class 10） | 靜電消散地板（電阻10^6-10^9Ω），濕度45±3% |
| 封裝測試區 | ISO 5（Class 100） | 防振地面，局部層流罩 |
| 化學品儲存區 | ISO 6（Class 1k） | 防爆通風+廢氣處理（Scrubber） |
注：AMC（Airborne Molecular Contamination）控制需符合 SEMI F21-1102 標準。
| 部位 | 材料選擇 | 電子行業特殊考量 |
|---|---|---|
| 墻面 | 電解鋼板（鍍鋅防銹）+導電環氧涂層 | 表面電阻≤10^9Ω，金屬離子析出量<0.1μg/cm2 |
| 地面 | 防靜電PVC卷材（2mm厚）或導電環氧自流平 | 電阻10^6-10^9Ω，耐磨性≥0.1g/1000r（Taber測試） |
| 吊頂 | 鋁合金FFU（Fan Filter Unit）模塊化安裝 | FFU滿布率≥80%，風速均勻性±15%以內 |
| 門窗 | 不銹鋼框+鋼化玻璃（防靜電涂層），氣密門帶ESD接地 | 門縫壓差泄漏率<0.25m3/h·m2 |
禁用材料：
普通塑料（易產塵）、含硅膠材料（揮發硅油）、碳纖維（導電干擾）。
接地系統：
獨立接地網（電阻<4Ω），所有金屬表面（設備、墻面、地板）等電位連接。
工作臺面鋪設防靜電墊（表面電阻10^6-10^8Ω）。
電離器：
在關鍵區域（如晶圓搬運）安裝離子風機，平衡靜電電荷（±50V以內）。
人員防護：
防靜電服（表面電阻10^5-10^11Ω）、手腕帶（1MΩ電阻）實時監測。
| 參數 | 要求 |
|---|---|
| 溫濕度控制 | 溫度22±0.5℃，濕度45±3%（光刻區需±1% RH） |
| 氣流組織 | 垂直單向流（0.45±0.1m/s），回風墻低位布置（減少渦流） |
| 過濾器等級 | ISO 3級：ULPA（99.9995%@0.12μm）；ISO 5級：HEPA（99.995%@0.3μm） |
| AMC控制 | 化學過濾器（活性炭+化學吸附劑），處理酸/堿/有機物（SEMI F21標準） |
化學品供應：
高純氣體管道采用EP級（Electropolished）不銹鋼，內壁粗糙度<0.25μm。
液態化學品輸送系統（CDS）需雙套管防泄漏。
廢氣處理：
酸性廢氣→濕式洗滌塔（Scrubber）；VOCs→沸石轉輪+RTO焚燒。
防微振設計：
地面采用浮筑地板（混凝土+隔振彈簧），振動頻率<1Hz（VC-D級標準）。
硅污染防控：
禁用含硅潤滑油，設備密封采用全氟醚橡膠（FFKM）。
SEMI標準：
SEMI S2（設備安全）
SEMI F21（AMC分級）
SEMI S8（ESD控制）
IEST標準：
IEST-RP-CC001（潔凈室操作）
IEST-RP-CC022（ESD控制指南）
行業規范：
TS 16949（汽車電子）
VDA6.3（德國汽車行業）
微粒控制施工：
采用模塊化預制（墻板/管道在潔凈室外預制，現場組裝）。
工具/材料進場前需用IPA（異丙醇）擦拭。
驗收測試：
| 測試項目 | 標準方法 | 合格指標 |
|---|---|---|
| 粒子計數 | ISO 14644-1 | 符合指定ISO等級（關注0.1μm粒子） |
| 氣流均勻性 | ISO 14644-3 | 風速偏差±15%以內 |
| 過濾器檢漏 | PAO/DOP法 | 泄漏率≤0.01% |
| AMC濃度 | SEMI F21 | 酸/堿/有機物<1ppb |
| 靜電消散時間 | ANSI/ESD S20.20 | 從±1000V放電至±100V時間<2秒 |
半導體晶圓廠：
光刻區：ISO 3級+10℃恒溫+黃光照明（防光刻膠曝光）。
CMP區：局部濕度<40%（減少研磨液結晶）。
OLED面板廠：
蒸鍍區：ISO 4級+防金屬污染（Mg、Al離子<0.01μg/m3）。
貼合區：Class 100+0.3m/s層流（防粉塵吸附）。
電子行業無塵車間的核心是“零容忍”微粒污染和靜電損傷，需從材料選擇、氣流設計到施工管理全程高標準控制。 建議優先選擇具有 半導體/顯示面板項目經驗 的EPC服務商。
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