電子廠凈化車間的規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)需綜合 國際標(biāo)準(zhǔn)、國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)規(guī)范 及 電子制造特殊要求（如防靜電、AMC控制、微振動控制等）。以下是核心規(guī)范要點：
ISO 14644-1
潔凈室分級（ISO 1~9級），懸浮粒子濃度限值。
IEST-RP-CC系列
潔凈室操作與測試規(guī)范（如過濾器檢漏、氣流組織）。
SEMI標(biāo)準(zhǔn)（半導(dǎo)體專用）
SEMI F21（AMC控制）、SEMI S2（設(shè)備安全）。
GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》
通用潔凈室設(shè)計要求。
GB 50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》
電子行業(yè)專用條款（防靜電、微振動等）。
GB 50646-2020《特種氣體系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》
適用于半導(dǎo)體廠特種氣體供應(yīng)。
ANSI/ESD S20.20
靜電放電控制標(biāo)準(zhǔn)（電子廠強制要求）。
GMP（醫(yī)藥電子）
部分醫(yī)療電子組件需符合GMP附錄1。
| 工藝環(huán)節(jié) | 推薦潔凈等級 | 核心要求 |
|---|---|---|
| 半導(dǎo)體前道（光刻） | ISO 3~4 | AMC控制+溫濕度±0.5℃ |
| 芯片封裝 | ISO 5 | 防靜電+氮氣惰化 |
| SMT貼片（錫膏印刷） | ISO 6~7 | 濕度＜40% RH（防錫珠飛濺） |
| 鋰電池極片制造 | ISO 7~8 | 粉塵濃度＜1mg/m3 |
| 普通電子組裝 | ISO 8 | 基礎(chǔ)防靜電 |
溫濕度：
溫度：22±2℃（半導(dǎo)體需±0.5℃）。
濕度：45±5% RH（防靜電區(qū)域可能需30~40% RH）。
壓差：
潔凈區(qū)對非潔凈區(qū)≥5Pa，產(chǎn)塵區(qū)負(fù)壓。
噪聲：≤65dB（A）。
地面：表面電阻 10?~10?Ω（環(huán)氧自流坪或PVC）。
工作臺：電阻 10?~10?Ω，接地阻抗＜1Ω。
人員：穿戴防靜電服/鞋，腕帶接地（人體電壓＜100V）。
限值（SEMI F21）：
| 污染物 | 允許濃度 |
|---|---|
| 酸性氣體 | ＜1ppb |
| 可凝有機物 | ＜10ppb |
措施：化學(xué)過濾器（ULPA+活性炭）、新風(fēng)預(yù)處理。
單向流（層流）：用于ISO 5級及以上區(qū)域（風(fēng)速0.45±0.1m/s）。
非單向流：用于ISO 6~8級，換氣次數(shù)≥15~50次/小時。
墻面/天花：
彩鋼板（巖棉/玻鎂芯，防火A級）或不銹鋼板。
接縫處打膠密封，圓弧角處理（R≥50mm）。
地面：
防靜電環(huán)氧自流坪（2~3mm厚）或PVC焊接地板。
門窗：密閉型，帶EPDM密封條，窗框與墻面平齊。
傳遞窗：帶自凈或UV殺菌功能（醫(yī)藥電子需VHP滅菌）。
三級過濾：
初效（G4）+中效（F8-F9）+高效（HEPA H13-H14/ULPA U15）。
FFU：用于局部高潔凈度區(qū)域（如芯片封裝臺）。
恒溫恒濕空調(diào)（±1℃精度），半導(dǎo)體廠可能需冷水機組+精密空調(diào)。
潔凈LED燈具（≥300lux），嵌入式安裝。
實時監(jiān)測粒子數(shù)、溫濕度、壓差，數(shù)據(jù)存儲≥3年。
鋰電池車間需防爆電氣（如Ex d IIB T4等級）。
| 項目 | 標(biāo)準(zhǔn)方法 | 合格標(biāo)準(zhǔn) |
|---|---|---|
| 潔凈度 | ISO 14644-1 | 粒子數(shù)符合設(shè)計等級 |
| 高效過濾器檢漏 | EN 1822或IEST-RP-CC034 | 泄漏率≤0.01% |
| 防靜電 | ANSI/ESD S20.20 | 表面電阻10?~10?Ω |
| 微生物（醫(yī)藥電子） | GMP附錄1 | 浮游菌＜1 CFU/m3（A級） |
空態(tài)（NCR）：設(shè)備未運行，測試基礎(chǔ)參數(shù)。
靜態(tài)（SCR）：設(shè)備運行無人員。
動態(tài)（OCR）：模擬生產(chǎn)狀態(tài)（至少3天）。
微振動控制：
光刻區(qū)需防微震地面（振幅＜1μm）。
特種氣體：
硅烷、磷化氫等氣體管道需獨立排風(fēng)+泄漏報警。
能耗優(yōu)化：
采用變頻風(fēng)機、熱回收裝置降低運行成本。
設(shè)計階段：按產(chǎn)品工藝確定潔凈等級+防靜電/AMC需求。
施工階段：選擇無塵室專業(yè)承包商（如中電二公司、蘇凈集團）。
驗收階段：第三方檢測（如SGS、TüV）。
電子廠凈化車間需嚴(yán)格遵循 “不產(chǎn)塵、不積塵、易清潔” 原則，建議結(jié)合具體工藝咨詢潔凈工程公司定制方案。
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