| 潔凈等級 | ISO標準 | 對應中國等級 | ≥0.5μm粒子限值（顆/m3） | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| ISO 3 | 1級 | - | ≤1,020 | 半導體晶圓制造（極少數） |
| ISO 4 | 10級 | - | ≤10,200 | 高端芯片光刻區 |
| ISO 5 | 100級 | A級 | ≤3,520 | 半導體封裝、Micro LED生產 |
| ISO 6 | 1,000級 | B級 | ≤35,200 | 精密光學元件、SMT貼片 |
| ISO 7 | 10,000級 | C級 | ≤352,000 | 電子元器件組裝、鋰電涂布 |
| ISO 8 | 100,000級 | D級 | ≤3,520,000 | 普通電子裝配、包裝區域 |
標準：ANSI/ESD S20.20
要求：
地面表面電阻 10?~10?Ω（防靜電環氧/PVC）。
工作臺/設備接地，員工穿戴防靜電服（摩擦電壓＜100V）。
標準：SEMI F21-1102
限值：
| 污染物類型 | 允許濃度（ppt） |
|---|---|
| 酸性氣體（HCl） | ＜1 |
| 堿性氣體（NH?） | ＜10 |
典型范圍：
溫度 22±1℃（半導體需±0.5℃）。
濕度 45±5% RH（防靜電要求可能低至30%）。
| 生產環節 | 推薦潔凈等級 | 補充要求 |
|---|---|---|
| 晶圓制造（光刻） | ISO 3~4 | AMC控制+防微震 |
| 芯片封裝 | ISO 5 | 防靜電+氮氣保護 |
| PCB印刷（SMT） | ISO 6~7 | 錫膏區需濕度＜40% RH |
| 鋰電池電極涂布 | ISO 7 | 粉塵濃度＜1mg/m3 |
| 普通電子組裝 | ISO 8 | 防靜電即可 |
懸浮粒子檢測：
儀器：激光粒子計數器（按ISO 14644-1采樣點布置）。
頻率：空態/靜態/動態三階段測試。
靜電監測：
表面電阻測試儀、靜電場分析儀。
AMC檢測：
氣相色譜儀（GC-MS）或離子色譜儀。
動態控制：
人員活動時，實際粒子數可能比靜態測試高1~2個數量級，需預留安全余量。
材料兼容性：
禁用木質、棉麻等產塵材料，設備需無油潤滑。
持續監測：
建議安裝在線粒子計數器+壓差報警系統。
國際：ISO 14644-1、SEMI F21
中國：GB 50073-2013《潔凈廠房設計規范》、GB 50472-2008《電子工業潔凈廠房設計規范》
電子廠需根據產品工藝（如納米級芯片 vs 普通電路板）選擇對應等級，并疊加防靜電、AMC等專項控制。建議咨詢專業潔凈室工程公司進行定制化設計。
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